使用 MA 方法加速測(cè)量氣體/水蒸氣滲透率的研究

MA方法的特點(diǎn)是在測(cè)量樣品和連接到水蒸氣或氣體的QMS的空間之間提供支撐層。

支架具有延遲氣體流入QMS側(cè)面空間的作用，因此可以防止更換樣品時(shí)檢測(cè)器側(cè)面空間的污染。結(jié)果，QMS側(cè)的空間始終保持高真空度，從而可以縮短或消除預(yù)處理時(shí)間。

將樣品室向大氣開放約90秒后，進(jìn)行約24小時(shí)的測(cè)量。未檢測(cè)到大氣成分水、氮?dú)夂脱鯕猓砻鱍MS側(cè)空間保持清潔的環(huán)境。

減少樣品損壞

右圖是測(cè)量后樣品的照片。
支撐件起到緩沖器的作用，這是傳統(tǒng)壓差方法的一個(gè)問(wèn)題。
還可以減少測(cè)量過(guò)程中對(duì)樣品的損壞。
通過(guò)采用使用支撐體的測(cè)量方法，即使是薄且易碎的樣品、容易破碎的樣品以及難以處理的樣品，也可以高精度地進(jìn)行測(cè)量。

實(shí)現(xiàn) SI 可追溯

QMS是一種可以高靈敏度定量各種氣體的檢測(cè)器，但靈敏度根據(jù)氣體類型的不同而變化很大。此外，靈敏度可能會(huì)根據(jù)使用歷史和環(huán)境而變化，因此需要定期校準(zhǔn)。

該設(shè)備具有內(nèi)置校準(zhǔn)機(jī)制，使用 SI 可溯源標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件 (SCE)，使校準(zhǔn)變得容易。
校準(zhǔn)時(shí)，將校準(zhǔn)氣體（用戶指的氣體或水蒸氣）通過(guò)SCE引入檢測(cè)器，如右圖所示。通過(guò)繪制 QMS 輸出與供應(yīng)側(cè)壓力變化的關(guān)系圖，可以獲得校準(zhǔn)曲線。

1. 氣體/水蒸氣滲透率測(cè)量裝置：?jiǎn)问倚停∕AT）

實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量、靈敏度和 SI 可追溯性

該裝置快速、高靈敏度、高精度，可以測(cè)量薄膜的氣體阻隔性能。它有助于各個(gè)領(lǐng)域的研究和開發(fā)，不僅包括
需要高水蒸氣阻隔性能的有機(jī)器件和太陽(yáng)能電池，還包括食品和藥品包裝，其中氧氣阻隔性能對(duì)于防止氧化引起的質(zhì)量劣化非常重要。

可以檢測(cè)到10 -7 g/m 2 /天的水蒸氣滲透率水平，這相當(dāng)于每天在面積與10個(gè)足球場(chǎng)相同的樣品(薄膜)上滴一滴水。
此外，新開發(fā)的測(cè)量方法大大縮短了測(cè)量時(shí)間，并且
通過(guò)使用公共機(jī)構(gòu)的校準(zhǔn)器，可以進(jìn)行可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的定量測(cè)量。

我們?cè)趪?guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)會(huì)議和展覽會(huì)上廣泛推廣我們的產(chǎn)品，以促進(jìn)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，
目前我們擁有大量向國(guó)內(nèi)外（尤其是中國(guó)）顯示器和器件制造商、公共機(jī)構(gòu)等客戶的銷售記錄。

除了用于有機(jī)器件、太陽(yáng)能電池、食品和包裝的阻隔薄膜和片材之外，我們?cè)跍y(cè)量
半導(dǎo)體和半導(dǎo)體陶瓷、容器和包裝玻璃以及電子元件金屬方面也擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。